Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки |
| Химические элементы | ||
| << На кальций соединения кальция из роль в природе | Общие сведения о минералогии урана и методах исследования >> |
Картинки из презентации «Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки» к уроку химии на тему «Химические элементы»
Автор: Влад. Чтобы познакомиться с картинкой полного размера, нажмите на её эскиз. Чтобы можно было использовать все картинки для урока химии, скачайте бесплатно презентацию «Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки.ppt» со всеми картинками в zip-архиве размером 4543 КБ.
Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки
содержание презентации «Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки.ppt»| Сл | Текст | Сл | Текст |
| 1 | Исследование методом сканирующей | 8 | полуконтактной сканирующей зондовой |
| зондовой микроскопии поверхности пленок | микроскопии. 1 - Блок подвода и | ||
| алюминия и меди, нанесенных на поликоровые | сканирования 2 - Измерительная головка 3 – | ||
| подложки. Автор Благова Светлана | Объектив с видеокамерой 4 - Штатив 5 – | ||
| Владиславовна Москва, ГОУ СОШ № 315. | Блок динамической виброизоляции 6 – | ||
| Научный руководитель Макарчук Владимир | Осветитель со световодом 7 – Платформа с | ||
| Васильевич, к.т.н., доцент каф. ИУ-4 МГТУ | блоком и опорным стойками 8 – СLE-система. | ||
| им. Н.Э. Баумана. Двенадцатая научная | 9 | Исследование поверхности поликоровой | |
| конференция «Шаг в будущее, Москва». МГТУ | подложки. При сканировании поверхности | ||
| имени Н.Э. Баумана Кафедра «Проектирование | поликоровой подложки на наноуровне было | ||
| и технология производства электронной | установлено, что ее структурные | ||
| аппаратуры» (ИУ-4). Москва, 2009. | образования расположены равномерно по всей | ||
| 2 | Цель, объект, решаемые задачи. Цель | площади поверхности и имеют размеры | |
| исследования – получение практических | значительно меньшие нанотехнологической | ||
| сведений о структуре поверхности | границы (100 нм). Поэтому объект можно | ||
| осажденных пленок с целью | считать наноструктурным образованием. Была | ||
| совершенствования технологического | выдвинута гипотеза, что эти поверхностные | ||
| процесса их формирования. Объектом | структурные образования вызваны | ||
| исследования являлись пленки алюминия и | микронеровностями керамики. | ||
| меди, полученные в процессе производства | Микронеровности поверхности керамики очень | ||
| гибридно-пленочных интегральных микросхем | велики (из-за способа ее получения). Они | ||
| методом термического вакуумного напыления. | могут быть значительно снижены путем | ||
| Решаемые задачи. Исследование поверхности | полировки. На скане представлена | ||
| пленок различных материалов с помощью | поверхность поликоровой подложки после | ||
| аппаратуры сканирующей зондовой | полирования. Поле сканирования - 15?15 | ||
| микроскопии. Проверка возможности | мкм. | ||
| применения данного исследования в процессе | 10 | Исследование поверхностных структур | |
| производства микросхем. Обобщение | пленки алюминия. Можно сделать | ||
| результатов исследования поверхности | предположение, что эти образования | ||
| пленок на наноуровне путем сравнения | сформировались вследствие неравномерного | ||
| сканов их поверхности между собой. | осаждения атомов алюминия на поверхность | ||
| 3 | Разработка микросхем. Фотошаблоны | подложки в процессе термического | |
| Фотолитография. Напыление проводящих | вакуумного напыления. Напыленный на | ||
| пленок на подложку является частью | подложку тонкий слой алюминия представляет | ||
| технологического процесса создания | собой поверхность с характерным | ||
| микросхем. Готовая микросхема. | металлическим блеском. Проанализировав | ||
| Топологический чертеж. Подготовка | результаты, полученные при сканировании, | ||
| поверхности подложки. Нанесение проводящих | можно видеть, что поверхность пленки | ||
| пленок на подложку. Резка, сверление. | неоднородна.На поверхности пленки видны | ||
| Навесные элементы, корпуса. Сборка. | образования тесно расположенные друг от | ||
| 4 | Сведения об исследуемых материалах. | друга очень похожие на «чешуйки». | |
| Медь - пластичный, немагнитный металл | Практически достоверно можно утверждать, | ||
| золотисто-розового цвета с невысокой | что эти «чешуйки» расположены равномерно | ||
| прочностью. Удельный вес - 8,93 г/cм3. | по всей поверхности. Поле сканирования - | ||
| Температура плавления – 1083°С. Структура | 5?5 мкм. | ||
| кристаллической решетки – кубическая | 11 | Исследование поверхностных структур | |
| гранецентрированная. Алюминий - лёгкий, | пленки меди. Напыленная на подложку медь | ||
| немагнитный металл серебристо-белого | представляет собой пленку с характерным | ||
| цвета, имеющий низкое удельное | золотисто-розовым оттенком. Просмотрев | ||
| сопротивление и легко поддающийся | результаты сканирования, можно заметить, | ||
| механической обработке. Удельный вес – 2,7 | что поверхность пленки очень неоднородна. | ||
| г/cм3. Температура плавления – 660°С. | На поверхности имеются структуры, | ||
| Структура кристаллической решетки – | различные по размерам. Однако можно точно | ||
| кубическая гранецентрированная. Поликор - | сказать, что размеры этих структур | ||
| разновидность керамики, основным | превышают нанотехнологическую границу. | ||
| компонентом которой является оксид | Видно, что эти образования располагаются | ||
| алюминия ( Al2O3 ). Кристаллическая | неравномерно по поверхности пленки. Можно | ||
| решетка меди и алюминия. Ионы металла | сделать предположение, что эти образования | ||
| удерживаются в положении равновесия из-за | сформировались вследствие неравномерного | ||
| взаимодействия с «газом свободных | распределения достаточно крупных частиц | ||
| электронов». Процентное содержание Al2O3. | меди по поверхности подложки при | ||
| 99,8. Пористость в процентном отношении. | напылении. Поле сканирования - 5?5 мкм. | ||
| 0,0 – 0,5. Внешний вид. Белый, | 12 | Поверхности пленок алюминия и меди, | |
| полупрозрачный. | полученные с помощью сканирующего | ||
| 5 | Образцы исследуемых пленок. Объектом | зондового микроскопа “SOLVER PRO”. | |
| исследования являлись пленки алюминия и | Поверхность пленки алюминия (поле | ||
| меди, осажденные на поверхность | сканирования - 5?5 мкм). Поверхность | ||
| поликоровых подложек. Конструкционные | пленки меди (поле сканирования - 5?5 мкм). | ||
| сведения о поликоровой подложке. Для | 13 | Поверхности пленок алюминия и меди, | |
| экспериментов были выбраны поликоровые | полученные с помощью сканирующего | ||
| подложки. Основные параметры поликоровой | зондового микроскопа “SOLVER PRO”. | ||
| подложки приведены в таблице . Фотографии | Поверхность пленки алюминия. (поле | ||
| образцов. Фотографии образцов. Пленка | сканирования 20?20 мкм). Поверхность | ||
| алюминия. Пленка меди. Материал. Материал. | пленки меди. (поле сканирования 20?20 | ||
| Размер, мм. Размер, мм. Толщина а мм. | мкм). | ||
| Толщина а мм. Ширина h. Длина 1. Поликор. | 14 | Применение полученных результатов. | |
| 48. 60. 1. | Проведенное исследование представляет | ||
| 6 | Технология формирования пленок. | собой качественно новый способ | |
| Алюминий и медь осаждались на подложку | исследования поверхности проводящих | ||
| методом термического вакуумного напыления. | пленок. Оно может сыграть большую роль | ||
| Технологический маршрут 1. Очистка | при: Совершенствовании технологии | ||
| поверхности подложек в растворе серной | производства гибридно-пленочных | ||
| кислоты (H2SO4) и дихромата калия | интегральных микросхем. Корректировке | ||
| (K2Cr2O7). Промывка подложек в | технологических режимов напыления | ||
| деионизованной воде . 2. Установка | посредством анализа сканов поверхности. | ||
| подложек на приемную поверхность рабочей | Выборе наиболее подходящего материала для | ||
| камеры установки термического вакуумного | проводящих пленок. Анализе и выявлении | ||
| напыления. 3. Загрузка гранул напыляемого | дефектов напыления и последующего их | ||
| вещества (в данном случае меди или | устранения. | ||
| алюминия) в испарители. Гранулы меди. | 15 | Зависимость качества микросхем от | |
| Гранулы алюминия. Откачка воздуха из | неоднородности осажденной пленки. От | ||
| объема рабочей камеры (создание вакуума) - | неоднородности осажденной пленки зависит | ||
| в течение дальнейших операций процесса). | ряд факторов, влияющих на качество и | ||
| Прогрев подложек лампами накаливания до | производство микросхем: Неравномерное | ||
| температуры 200-300°С. Подача напряжения | осаждение следующего покрытия | ||
| на испарители. Плавление и испарение из | Неоднородность толщины Погрешности при | ||
| испарителей гранул напыляемого вещества. | фотолитографии Усиление процессов | ||
| Осаждение на подложку слоя напыляемого | электромиграции Увеличение объема внешнего | ||
| вещества. Отключение напряжения на | загрязнения Рост активных потерь в СВЧ | ||
| испарителях. Прекращение откачки воздуха. | микросхемах ( ток течет в поверхностном | ||
| Постепенное охлаждение закрытой камеры. | слое). | ||
| Извлечение подложек из камеры (через шесть | 16 | Выводы. В результате эксперимента | |
| часов). | представлен метод оценки и исследования | ||
| 7 | Исследование проведено с помощью | поверхностных структур пленок, | |
| сканирующей зондовой микроскопии. Первая | образованных при напылении вещества на | ||
| часть исследования была выполнена с | подложку в процессе изготовления | ||
| помощью сканирующего зондового микроскопа | микросхем. По результатам исследования | ||
| “NanoEducator”. Использовался | видно, что визуально ровная поверхность | ||
| полуконтактной метод. Перед началом | пленок оказывается неоднородной, что может | ||
| исследования была произведена подготовка | вызвать ухудшения качества микросхем. | ||
| прибора к работе - калибровка сканера с | Образования на поверхности исследованных | ||
| помощью специальной калибровочной решетки | пленок объясняются одним фактором - | ||
| TGZ1. 1 - Основание 2 - Держатель образца | неравномерностью осаждения частиц веществ | ||
| 3 - Датчик взаимодействия 4 - Винт | при напылении ( причем образования на | ||
| фиксации датчика 5 - Винт ручного подвода | поверхности пленок меди крупнее т.к зерна | ||
| 6 - Винт перемещения датчика с образцом 7 | меди крупнее зерен алюминия).Алюминиевая | ||
| - Защитная крышка с видеокамерой. | пленка является более однородной | ||
| 8 | Исследование проведено с помощью | структурой. С помощью проведенного | |
| сканирующей зондовой микроскопии. Вторая | исследования можно контролировать | ||
| часть исследования была выполнена с | параметры напыления проводящих пленок, что | ||
| помощью сканирующего зондового микроскопа | способствует повышению качества получаемых | ||
| “SOLVER PRO”. Использовался метод | микросхем. | ||
| Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки.ppt | |||
http://900igr.net/kartinka/khimija/issledovanie-metodom-skanirujuschej-zondovoj-mikroskopii-poverkhnosti-plenok-aljuminija-i-medi-nanesennykh-na-polikorovye-podlozhki-102242.html
cсылка на страницу
Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки
другие презентации на тему «Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки»
«Свойства алюминия» - Нечётный. Почему алюминий так нужен человеку? - Al (металл). Mg>Al<Ga. Алюминий как простое вещество: применение. Алюмосиликаты составляют основную массу земной коры. Алюминий как простое вещество: химические свойства: Рассмотрите электрохимический ряд металлов. Металлические. В каком виде (в свободном или в соединении) находится алюминий в природе?
«Урок-исследование» - Вести наблюдения. Сконструировать проблемную ситуацию. Слишком трудное или слишком лёгкое задание не вызовет проблемной ситуации. Чему учатся дети в ходе осуществления исследований? Существуют разные способы зимовки, которые обеспечивают возможность сохранения потомства». Составлять план работы. В лабиринте мыслей легко потеряться без плана.
«9 класс Алюминий» - Получение алюминия. Взаимодействует: 1.С неметаллами (с кислородом). Металлы. Физические свойства алюминия. Электролиз - основной способ получения алюминия сегодня. 2.С кислотами ( с серной и соляной (разбавленной). 4.С оксидами металлов (алюминотермия). AL. Химические свойства алюминия. 3.С основаниями.
«Медь химия» - Разлив никелевых анодов. «Медь». Применение меди. Норильская обогатительная фабрика. Норильск- крупнейший центр медно-никелевого производства страны. Продукция. Положение в периодической системе. Пластичность. В руднике. Обогащение. Медная катанка (рис.) Медь катодная. Никелевый завод. Агрегатное состояние.
«Исследование жизни» - Отдых, сон. По 0,5 балла за ответ, соответствующий нашему пониманию здорового образа жизни. Спорт и прогулки. Курение, алкоголь. Цель исследования. Еда. Замечания. Отказаться от вредных привычек достаточно непросто в современном мире. Группа исследователей. Молодёжь придерживается здорового образа жизни по мере возможности.
«Производство алюминия» - Объединение научно- технического потенциала. Экономическая логика и важность сделки. Усиление позиций компании как энергометаллургической корпорации. МЕХАНИЗМ ЦЕНООБРАЗОВАНИЯ НА АЛЮМИНИЙ – Лондонская Биржа Металлов (LME). Источник: Brook Hunt, оценка РУСАЛа. Объединение РУСАЛа, СУАЛа и алюминиевых активов Glencore.
Химические элементы
46 презентаций о химические элементах
Химия
65 тем
Химия
○ Уроки химии
○ Обучение химии
○ ИКТ на уроках химии
○ Игры по химии
○ Задачи по химии
Строение атома
○ Закон Менделеева
▫ Менделеев
Химическая связь
Вещество
○ Состояние вещества
○ Смеси
○ Вода
▫ Свойства воды
○ Минералы
○ Круговорот веществ
Реакции
○ Диссоциация
○ Гидролиз
Неорганическая химия
○ Химические элементы
▫ Галогены
▫ Азот
▫ Железо
▫ Кислород
▫ Кремний
• Силикатная промышл.
▫ Сера
▫ Углерод
▫ Фосфор
○ Классы неорг. соединен.
▫ Оксиды
▫ Соли
• Поваренная соль
▫ Кислоты
• Названия кислот
- Серная кислота
○ Металлы
▫ Виды металлов
▫ Свойства металлов
▫ Коррозия
▫ Сплавы
▫ Металлургия
• Чёрная металлургия
▫ Применение металлов
○ Неметаллы
Органическая химия
○ Органические вещества
○ Углеводороды
▫ Предел. углеводороды
▫ Непред. углеводороды
▫ Источники углеводород.
○ Спирты
▫ Виды спиртов
○ Карбоновые кислоты
○ Эфиры
○ Углеводы
○ Белки
○ Полимеры
○ Нуклеиновые кислоты
Химия в жизни
○ Бытовая химия
○ Хим.промышленность
Без темы
Похожие
презентации
Картинки
900igr.net
>
Презентации по химии
>
Химические элементы
>
Исследование методом сканирующей зондовой микроскопии поверхности пленок алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки